特許
J-GLOBAL ID：200903012209778517

プローブ顕微鏡

発明者：
本棒 享子

本棒 享子 について

, 
馬渕 勝美

馬渕 勝美 について


出願人/特許権者：
株式会社日立製作所

株式会社日立製作所 について


代理人 (2件)： 井上 学 ,  戸田 裕二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-295025
公開番号（公開出願番号）：特開2009-121895
出願日： 2007年11月14日
公開日（公表日）： 2009年06月04日
要約：
【課題】 微細配線を備えたチップやウエハなどのデバイス上に存在する不純物を、簡便に高感度で検出する方法,装置を提供する。【解決手段】 探針と、該探針を試料上で走査させる駆動機構と、試料を液体に浸すための試料セルとを有し、探針を試料セルに満たされた液中を三次元に走査することにより試料の検査を行う。液中に拡散した化合物を探針で検知し、不純物または欠陥の存在位置の検出,化合物の濃度の検出,化合物の種類を検出し、デバイスの欠陥や不純物を観察する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
探針と、該探針を試料上で走査させる駆動機構と、試料を液体に浸すための試料セルとを有する走査型プローブ顕微鏡であって、 前記探針は、前記駆動機構により前記試料セルに満たされた液中を三次元に走査する機構を有し、前記探針により液中を走査して得た信号に基づき、試料の検査を行う手段を有することを特徴とする走査型プローブ顕微鏡。
IPC (3件)：
G01N 13/10 ,  G01N 13/12 ,  G01N 13/16
FI (3件)：
G01N13/10 121H ,  G01N13/12 101 ,  G01N13/16 101
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (2件)

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