特許
J-GLOBAL ID：200903012211559202
移動鏡の真直度誤差補正方法及びステージ装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
立石 篤司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-110281
公開番号（公開出願番号）：特開平9-275072
出願日： 1996年04月05日
公開日（公表日）： 1997年10月21日
要約：
【要約】【課題】 移動鏡の固定後の変形成分とともに、移動鏡自体の加工誤差に由来するレーザ干渉計の測長軸間隔以下の凹凸やうねり成分についての真直度誤差を確実に補正する。【解決手段】 ウエハステージ14に取り付ける前の移動鏡28Aと28Bの面状データを一端からの距離の関数データとして測定しメモリに記憶する。次に、ウエハステージ14に取り付けた後の移動鏡28Aと28Bを、間隔dをおいて平行に配置された2つのレーザ干渉計を用いて、間隔d毎の離散的な形状誤差データを計測して、その計測結果をメモリに格納する。そして、主制御部により、上記したウエハステージ14取り付け前と後の移動鏡の面状データと形状誤差データの相関関係に基づいて、ウエハステージ14取り付け後の移動鏡の連続的な形状誤差データを作成し、これを補正データとして用いる。
請求項（抜粋）：
2次元平面内で第1軸方向とこれに直交する第2軸方向とに沿って移動可能なステージに設けられた前記1軸方向に伸びる移動鏡の真直度誤差補正方法であって、前記移動鏡を前記ステージに取り付けるに先だって、前記移動鏡の反射面の形状誤差を測定し、このデータを当該移動鏡の一端からの距離の関数データとしてメモリに格納する第1工程と;前記移動鏡をステージに取り付け後、前記ステージを前記移動鏡の延設方向にほぼ一致する第1軸方向に沿って移動しつつ、前記ステージの前記第2軸方向の位置を計測するために前記第1軸方向に所定間隔隔てた少なくとも2つの測長軸を有するレーザ干渉計を用いて前記移動鏡の反射面の測長軸間隔毎の離散的な形状誤差を計測し、この形状誤差データをメモリに格納する第2工程と;前記第2工程でメモリに格納された前記移動鏡反射面の測長軸間隔毎の離散的な形状誤差データと、前記第1工程でメモリに格納された移動鏡の一端からの距離の関数データとを、前記測長軸の位置と前記移動鏡の取付位置の相対的な関係に基づいて合成することにより、前記移動鏡の真直度誤差補正のための連続的な補正データを作成する第3工程とを含む移動鏡の真直度誤差補正方法。
IPC (4件)：
H01L 21/027
, G03B 27/32
, G03F 7/20 521
, G03F 9/00
H01L 21/30 516 B
, G03B 27/32 F
, G03F 7/20 521
, G03F 9/00 H
, H01L 21/30 525 L
