特許
J-GLOBAL ID:200903012216579449

有機質基材表面のメタライズ方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 松本 武彦
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平5-033749
公開番号(公開出願番号):特開平6-248419
出願日: 1993年02月23日
公開日(公表日): 1994年09月06日
要約:
【要約】【目的】 基材表面に凹凸を形成したり、所望の金属膜以外の材料をプリコートせずに、平滑な有機質基材の表面に密着力の高い気相成長法による金属膜を形成することのできる方法を提供する。【構成】 この発明の有機質基材表面のメタライズ方法は、有機質基材表面を水蒸気を含む混合ガスプラズマによる表面処理を施した後、あるいは、有機質基材表面に水分を吸着させてから不活性ガスや活性ガスまたはその混合ガスのプラズマによる表面処理を施した後、基材表面に気相成長法により金属膜を形成することを特徴とする。
請求項(抜粋):
有機質基材表面を水蒸気を含む混合ガスプラズマによる表面処理を施した後、あるいは、有機質基材表面に水分を吸着させてから不活性ガスや活性ガスまたはその混合ガスのプラズマによる表面処理を施した後、基材表面に気相成長法により金属膜を形成するようにする有機質基材表面のメタライズ方法。
IPC (2件):
C23C 14/02 ,  C23C 14/20
引用特許:
審査官引用 (2件)
  • 特開平4-261359
  • 特開昭62-038530

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