特許
J-GLOBAL ID:200903012220798570

X線放射線または極紫外線放射線を発生するための方法および装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (3件): 佐藤 一雄 ,  永井 浩之 ,  鈴木 清弘
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-036569
公開番号(公開出願番号):特開2004-235158
出願日: 2004年02月13日
公開日(公表日): 2004年08月19日
要約:
【課題】 レーザプラズマ放射によりX線放射線または極紫外線放射線を発生するための方法であって、少なくとも1つのターゲット(17)をチャンバ内で発生させるとともに、少なくとも1つのパルスレーザビーム(3)をチャンバ内でターゲット(17)に集光させる方法を提供する。【解決手段】 ターゲットは液体の噴流(17)の形態で発生し、レーザビーム(3)は噴流(17)の空間的に連続した部分に集光される。上記方法に従ってレーザプラズマ放射によりX線放射線または極紫外線放射線を発生するための装置は、少なくとも1つのレーザビーム(3)を発生するための手段と、チャンバと、少なくとも1つのターゲット(17)をチャンバ内で発生するための手段(10)と、レーザビーム(3)をチャンバ内でターゲット(17)に集光させるための手段(13)とを含む。ターゲット発生手段(10)は、液体の噴流(17)を発生する。集光手段(13)は、レーザビーム(3)を噴流(17)の空間的に連続した部分に集光させる。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
レーザ誘起プラズマ放射によりX線放射線または極紫外線放射線を発生するための方法であって、少なくとも1つのターゲット(17)を発生させるとともに、少なくとも1つのパルスレーザビーム(3)を前記ターゲット(17)に集光させて前記プラズマを発生させる方法において、 前記ターゲット(17)は、ノズル(10)を通して液体を圧力の作用で圧送することによって噴流の形態で発生され、前記ターゲット(17)は、気化によって凍結されて固体の形態となり、かつ、前記レーザビーム(3)は、前記ターゲットの凍結した部分に集光されることを特徴とする方法。
IPC (6件):
H05G2/00 ,  G03F7/20 ,  G21K5/00 ,  G21K5/02 ,  G21K5/08 ,  H01L21/027
FI (7件):
H05G1/00 K ,  G03F7/20 521 ,  G21K5/00 Z ,  G21K5/02 X ,  G21K5/08 R ,  G21K5/08 X ,  H01L21/30 531S
Fターム (7件):
4C092AA06 ,  4C092AA15 ,  4C092AB27 ,  4C092AC08 ,  4C092AC09 ,  5F046GA02 ,  5F046GC03
引用文献:
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