位置決め制御方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小川勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-106455
公開番号（公開出願番号）：特開平6-318115
出願日： 1993年05月07日
公開日（公表日）： 1994年11月15日
要約：

【要約】【目的】除振機構により移動体の位置決めの高速,高精度化を図る。【構成】位置決めを行う移動体5と、移動体5を載せる除振機構と、移動体の位置を計測する位置計測装置と、移動体位置と目標位置の偏差を演算する減算器と、偏差に基づいて移動体5を制御する制御装置4と、制御装置4の出力に基づき移動体5を駆動する駆動装置において、移動体5に加わる未知外乱6を推定する外乱推定器7と、除振機構の固有振動数を中心に一定の周波数帯のみを通過させるバンドパスフィルタ8を設け、外乱推定値7から除振機構の固有振動数成分のみを抽出し、制御装置4の出力から減算する。

請求項（抜粋）：

位置決めを行う移動体と、前記移動体を載せる除振機構と、前記移動体の位置を計測する位置計測装置と、前記位置計測装置の出力と目標位置との偏差を演算する減算器と、前記減算器の出力の偏差信号に基づいて前記移動体を制御する制御装置と、前記制御装置の出力に基づき前記移動体を駆動する駆動装置において、前記移動体に加わる未知外乱を推定する外乱オブザーバと、前記除振機構の固有振動数を中心に一定の周波数帯のみを通過させるバンドパスフィルタを設け、前記外乱オブザーバにより推定した未知外乱推定値から前記除振機構の固有振動数成分のみを抽出し、前記制御装置の出力から減算することを特徴とする位置決め制御方法。

IPC (8件)：

G05D 3/12 305 , G05D 3/12 , G05D 3/12 306 , G01B 21/00 , G05B 11/36 , G05B 11/36 501 , G12B 5/00 , H01L 21/68

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