特許

J-GLOBAL ID：200903012227909319

感光性樹脂組成物

発明者： 宮川 昌士 ,  大熊 典夫
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 若林 忠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-271562
公開番号（公開出願番号）：特開平5-107753
出願日： 1991年10月19日
公開日（公表日）： 1993年04月30日
要約：

【要約】【目的】 ポリ-P-ヒドロキシスチレン系レジストの耐クラック性を向上せしめて、厚膜にてもクラックが発生せず高い解像性を実現できる感光性材料を提供すること。【構成】 ポリ-P-ヒドロキシスチレン、アジド化合物および重量平均分子量が20000以上の水あるいはアルカリ溶解性高分子化合物を含有させてネガ型感光性樹脂組成物を調製する。

請求項（抜粋）：

ポリ-P-ヒドロキシスチレン、アジド化合物および重量平均分子量が20000以上の水あるいはアルカリ溶解性高分子化合物を含むことを特徴とするネガ型感光性樹脂組成物。

IPC (6件)：

G03F 7/008 ,  G03F 7/004 512 ,  G03F 7/033 ,  G03F 7/038 505 ,  H01L 21/027 ,  H05K 3/06