特許

J-GLOBAL ID：200903012234244071

基板搬送装置

発明者： 小嶋 純一
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 佐藤 強
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-038254
公開番号（公開出願番号）：特開平9-226987
出願日： 1996年02月26日
公開日（公表日）： 1997年09月02日
要約：

【要約】【課題】 マガジンに収納された基板を、マガジンから取出して位置のばらつき少なく次行程部に引き渡すし得るようにする。【解決手段】 マガジンに段積みして収納された複数の基板を、1枚ずつ下方より真空吸着して取出し次工程部に搬出するものにおいて、その搬出途中部で真空吸着を解除した状態の基板に対し、その両側から同期して移動する、第1の爪32と、基板の辺部の形状に応じて動く第2の爪33とで基板を対向する両辺部又は対向する両角部にて挟むことにより、基板を挟んだ方向の中心位置に寄せるようにした。

請求項（抜粋）：

マガジンに段積みして収納された複数の基板を、1枚ずつ下方より真空吸着して取出し次工程部に搬出するものにおいて、その搬出途中部で真空吸着を解除した状態の基板に対し、その両側から同期して移動する、第1の爪と、基板の辺部の形状に応じて動く第2の爪とで基板を対向する両辺部にて挟むことにより、基板を挟んだ方向の中心位置に寄せることを特徴とする基板搬送装置。

IPC (3件)：

B65H 9/10 ,  H01L 21/68 ,  H05K 13/02

FI (3件)：

B65H 9/10 ,  H01L 21/68 A ,  H05K 13/02 U