特許

J-GLOBAL ID：200903012240570410

非接触型微量液滴下方法及び装置

発明者： 田原 諭 ,  中山 博之 ,  坂井 琢磨 ,  犬塚 博誠 ,  内海 淳
出願人/特許権者： 三菱重工業株式会社
代理人 (1件)： 曾我 道照 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-374566
公開番号（公開出願番号）：特開2003-172744
出願日： 2001年12月07日
公開日（公表日）： 2003年06月20日
要約：

【要約】【課題】 測定範囲内の金属薄膜表面に傷や接触痕等のダメージを与えることなく、微量の液体を測定基板上に滴下することができる非接触型微量液滴下方法を提供する。【解決手段】 本発明に係る基板12の表面へ滴下部2の先端から液体14を滴下する非接触型微量液滴下方法は、(i)前記基板12の表面と前記滴下部2の先端との間の静電容量を測定し、(ii)予め求めた前記基板12の表面と前記滴下部2の先端との間の距離及び静電容量の相関関係に基づき、前記滴下部2の先端に生成された液滴14のみを前記基板12の表面に接触させるように、測定された静電容量に従って前記基板12の表面に対する前記滴下部2の位置を制御する、ことを特徴とする。

請求項（抜粋）：

基板の表面へ滴下部の先端から液体を滴下する方法であって、前記基板表面と前記滴下部の先端との間の静電容量を測定し、予め求めた前記基板表面と前記滴下部の先端との間の距離及び静電容量の相関関係に基づき、前記滴下部の先端に生成された液滴のみを前記基板表面に接触させるように、測定された静電容量に従って前記基板表面に対する前記滴下部の位置を制御する、非接触型微量液滴下方法。

IPC (3件)：

G01N 35/10 ,  G01B 7/00 ,  G01N 21/27

FI (3件)：

G01B 7/00 K ,  G01N 21/27 C ,  G01N 35/06 C

Fターム (24件)：

2F063AA22 ,  2F063BB05 ,  2F063BC05 ,  2F063BC10 ,  2F063CA28 ,  2F063DA01 ,  2F063DA05 ,  2F063HA01 ,  2F063HA04 ,  2G058AA09 ,  2G058CC11 ,  2G058EA03 ,  2G058EA11 ,  2G058EA14 ,  2G058ED12 ,  2G058GA02 ,  2G058GB10 ,  2G059BB04 ,  2G059BB12 ,  2G059CC16 ,  2G059DD12 ,  2G059EE02 ,  2G059GG01 ,  2G059PP02