特許

J-GLOBAL ID：200903012257805836

カラ-フィルタの製造法

発明者： 山口 正利 ,  伴野 秀邦 ,  杉本 靖 ,  吉田 健
出願人/特許権者： 日立化成工業株式会社
代理人 (1件)： 若林 邦彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-328432
公開番号（公開出願番号）：特開平11-160516
出願日： 1997年11月28日
公開日（公表日）： 1999年06月18日
要約：

【要約】【課題】隣接画素への残渣が無く混色の無い、カラーフィルタの製造法を提供するものである。【解決手段】透光性基板に所定のBM等の画素区画膜を形成し、感光性樹脂着色層を形成し、透光性基板の画素区画膜が形成された面の裏面に所定の開口部を有するマスクを配置し、マスク開口部を通して透光性基板の裏面から感光性樹脂着色層に活性光線を照射し、現像によって所定画素を形成する工程を所定回数行うカラーフィルタの製造方法であって、前記感光性樹脂のγ値が80°〜90°であることを特徴とするカラーフィルタの製造法。光の回折により発生するフォトマスク遮光部下に回り込んだ光に対し感光しないせず、隣接画素への残渣発生を防止する。

請求項（抜粋）：

透光性基板に、所定の画素区画膜を形成し、感光性樹脂着色層を形成し、透光性基板の画素区画膜が形成された面の裏面に所定の開口部を有すマスクを配置し、マスク開口部を通して透光性基板の裏面から感光性樹脂着色層に活性光線を照射し、現像によって所定画像を形成する工程を所定回数行うカラ-フィルタの製造法であって、前記感光性樹脂のγ値が80°〜90 ゚であることを特徴とするカラ-フィルタの製造法。

IPC (3件)：

G02B 5/20 101 ,  G02F 1/1335 505 ,  G03F 7/004 511

FI (3件)：

G02B 5/20 101 ,  G02F 1/1335 505 ,  G03F 7/004 511