特許
J-GLOBAL ID：200903012260231654
表面検査装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小島 俊郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-344397
公開番号（公開出願番号）：特開平9-159621
出願日： 1995年12月06日
公開日（公表日）： 1997年06月20日
要約：
【要約】【課題】シ-ト状製品の表面にある油むら等の模様状疵をオンラインで連続的に検出して、その種別や程度を正確に弁別することは困難であった。【解決手段】光学系1の投光部2の位置を、無塗油の鋼板6を検査するときには、鋼板6に対する偏光の入射角が60度から80度の間になるように設定し、塗油材の鋼板6を検査するときには入射角が55度から65度の間になるように設定する。この入射角に対応させて受光部3の位置を可変して、最も信号レベルの高い状態で鋼板6の表面を検査する。
請求項（抜粋）：
投光部と受光部と入射角可変部と受光角可変部及び信号処理部とを有し、投光部は被検査面の幅方向全体にわたり偏光光束を入射し、受光部は被検査面からの反射光から異なる3つの偏光成分を抽出して画像信号に変換し、入射角可変部は被検査面の幅方向の検査ラインを中心にして投光部を回動して被検査面に入射する偏光光束の入射角を可変し、受光角可変部は被検査面の幅方向の検査ラインを中心にして受光部を回動して被検査面で反射した光の受光角を可変し、信号処理部は上記画像信号からエリプソパラメ-タと表面反射強度を算出し、疵候補領域内におけるエリプソパラメ-タと表面反射強度の正常部に対する大小を示す極性を算出し、算出したエリプソパラメ-タと表面反射強度の極性の組合せによる疵特徴量を演算し、演算した疵特徴量から表面疵の種類を判定することを特徴とする表面検査装置。
IPC (2件)：
FI (3件)：
G01N 21/88 Z
, G01B 11/30 E
, G01B 11/30 G
