特許

J-GLOBAL ID：200903012263121540

CCDカメラ用アナモルフイックレンズ

発明者： ジョン ジン ホ ,  イ ゾン ウン
出願人/特許権者： 現代電子産業株式会社
代理人 (1件)： 佐々木 敏雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-321802
公開番号（公開出願番号）：特開平8-050239
出願日： 1994年11月17日
公開日（公表日）： 1996年02月20日
要約：

【要約】【目的】 本発明は、検査対象物の縦横比率がCCDの撮像部の縦横比率と一致しない場合、結像比率を横方向0.25倍に、縦方向を1倍の結像倍率とする半導体の検査装置に使用するCCDカメラ用アナモルフィックレンズに関するものである。【構成】 1:1の倍率により収差が補正されるように5枚構成の球面レンズ系からなる第1、第2のレンズと、縦横結像倍率を異にするアフォーカルシリンドリカルレンズ系の構成が要求され、これらは0.01mmの精密測定力を得る為に、焦点距離を有する球面レンズ系を同軸線上に対向に設け、これらのレンズ系の間に焦点距離が無限であり、縦横の結像倍率が異なるアフォーカルシリンドリカルレンズ系を設けてCCDに結像される被写体の倍率が垂直方向と水平方向が互いに異なり、水平方向を0.25倍に縮小して撮像部が6.6×8.8mmの大きさの一般のCCD上に結像されるように構成したものである。

請求項（抜粋）：

レンズ系を通過した被写体の像が、CCD(400)に結像されることにより製品の精度を測定する装置において、5枚の構成からなる第1、第2レンズ系(101,102)を所定の間隔(103)を置いて対向させて設けた1:1の倍率となるようにする球面レンズ系(100)と上記の間隔(103)に、検出対象物体の縦,横の結像比率を夫々異なるように屈折するアナモルフィックレンズ系(300)とを設けたことを特徴とするCCDカメラ用アナモルフィックレンズ。