特許

J-GLOBAL ID：200903012265144148

反射防止膜、光学素子及び露光装置

発明者： 網干 順治
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-388535
公開番号（公開出願番号）：特開2002-189101
出願日： 2000年12月21日
公開日（公表日）： 2002年07月05日
要約：

【要約】【課題】 λ0=150〜300nmの広い波長範囲で反射防止効果を有する反射防止膜を提供すること、及び、広い光線入射角度範囲で反射防止効果を有する反射防止膜を提供すること。【手段】 150nm〜300nmの波長域の設計中心波長λ0に対し、前記波長の光を透過する基板と、前記基板の屈折率よりも高い高屈折率物質からなる高屈折率層と、前記基板の屈折率よりも低い低屈折率物質からなる低屈折率層とからなる反射防止膜において、前記基板側から数えて第1層、第3層及び第5層が前記高屈折率物層であり、第2層、第4層及び第6層が前記低屈折率物質層であり、第1層から第4層までの光学的膜厚の合計が0.60λ0以上0.90λ0以下の範囲であり、第4層と第5層との光学的膜厚が各々0.20λ0以上0.30λ0以下の範囲である構成とした。

請求項（抜粋）：

150nm〜300nmの波長域の設計中心波長λ0に対し、前記波長の光を透過する基板と、前記基板の屈折率よりも高い高屈折率物質からなる高屈折率層と、前記基板の屈折率よりも低い低屈折率物質からなる低屈折率層とからなる反射防止膜において、前記基板側から数えて第1層、第3層及び第5層が前記高屈折率物層であり、第2層、第4層及び第6層が前記低屈折率物質層であり、第1層から第4層までの光学的膜厚の合計が0.60λ0以上0.90λ0以下の範囲であり、第4層と第5層との光学的膜厚が各々0.20λ0以上0.30λ0以下の範囲であることを特徴とする反射防止膜。

IPC (5件)：

G02B 1/11 ,  B32B 7/02 103 ,  B32B 9/00 ,  G03F 7/20 502 ,  H01L 21/027

FI (5件)：

B32B 7/02 103 ,  B32B 9/00 A ,  G03F 7/20 502 ,  G02B 1/10 A ,  H01L 21/30 515 D

Fターム (34件)：

2H097BA10 ,  2H097CA13 ,  2H097LA10 ,  2K009AA02 ,  2K009AA09 ,  2K009BB02 ,  2K009CC03 ,  2K009CC06 ,  2K009DD03 ,  4F100AA05B ,  4F100AA05D ,  4F100AA05E ,  4F100AA06C ,  4F100AA06E ,  4F100AA19B ,  4F100AA19D ,  4F100AA19E ,  4F100AA20C ,  4F100AA20E ,  4F100AG00 ,  4F100AT00A ,  4F100BA05 ,  4F100BA07 ,  4F100BA10A ,  4F100BA10B ,  4F100EH66 ,  4F100GB41 ,  4F100JN01A ,  4F100JN18B ,  4F100JN18C ,  4F100JN18D ,  4F100JN18E ,  5F046CB01 ,  5F046DA12