特許
J-GLOBAL ID：200903012274204790
エアーリーク検出装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
安藤 淳二 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-111139
公開番号（公開出願番号）：特開平11-304633
出願日： 1998年04月21日
公開日（公表日）： 1999年11月05日
要約：
【要約】【課題】 被検査物の微少なエアーリークを精度よく検出できるエアーリーク検出装置を提供する。【解決手段】 検査チャンバー1に気密を保って閉成する蓋体11が備えられ、検査チャンバー1に配管3を介して減圧装置4が接続され、気密的に封止された被検査物Dが装填された検査チャンバー1内を減圧装置4にて所定圧に減圧し、配管途中に設けられて配管3経路を開閉する中間弁5を閉成し、所定時間後における検査チャンバー1内の減圧状態を検知して被検査物Dのエアーリークを検出するエアーリーク検出装置において、前記検査チャンバー1に接続した前記配管3の経路を開閉する開閉弁2は、前記検査チャンバー1と一体に設けられた構成にしてある。
請求項（抜粋）：
検査チャンバーに気密を保って閉成する蓋体が備えられ、検査チャンバーに配管を介して減圧装置が接続され、気密的に封止された被検査物が装填された検査チャンバー内を減圧装置にて所定圧に減圧し、配管途中に設けられて配管経路を開閉する中間弁を閉成し、所定時間後における検査チャンバー内の減圧状態を検知して被検査物のエアーリークを検出するエアーリーク検出装置において、前記検査チャンバーに接続した前記配管経路を開閉する開閉弁は、前記検査チャンバーに設けられたことを特徴とするエアーリーク検出装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01M 3/32 A
, G01M 3/04 S
