密封容器

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：藤本博光 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-328926
公開番号（公開出願番号）：特開平11-163116
出願日： 1997年11月28日
公開日（公表日）： 1999年06月18日
要約：

【要約】【課題】加工装置のウェーハ受け渡し位置で正確に位置決めすることができるとともに、軽量化が可能な密封容器を提供する。【解決手段】カバーケース1の底部にコンベヤプレート16を、カバーケース1の内部両側には相互に対向するカラム20をそれぞれ配設し、コンベヤプレート16にポートプレート位置決め用のキネマチックカップリング17・17Aを所定の間隔をおいて複数配設する。そして、カラム20のボトムプレート23をキネマチックカップリング17・17Aに固定し、ボックスドア7の内面とカバーケース1の内部とに相互に対向するフロントリテーナ30とリヤリテーナ33とをそれぞれセットする。各カラム20がカバーケース1に着脱自在に取り付けられ、しかも、各ボトムプレート23の円筒形ボス27・27Aがキネマチックカップリング17・17Aに直接固定されるので、位置決めの際に誤差が累積しない。

請求項（抜粋）：

カバーケースに精密基板を収納し、該カバーケースの開口一端面をボックスドアで被覆する密封容器であって、上記カバーケースを合成樹脂製としてその底部にコンベヤプレートを、該カバーケースの内部両側には精密基板支持用のカラムをそれぞれ取り付け、該コンベヤプレートに位置決め用のカップリングを所定の間隔をおいて複数設け、上記カラムは、上記精密基板を支持溝でほぼ水平状態に支持する側壁部材と、この側壁部材の下部に設けられたボトムプレートとを含み、このボトムプレートを上記カップリングに密封部材を介して固定したことを特徴とする密封容器。

IPC (3件)：

H01L 21/68 , B65D 85/86 , B65G 49/07

FI (3件)：

H01L 21/68 T , B65G 49/07 L , B65D 85/38 R

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