特許
J-GLOBAL ID：200903012285265510
画像測定機
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
木内 修
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-018365
公開番号（公開出願番号）：特開平9-189512
出願日： 1996年01月09日
公開日（公表日）： 1997年07月22日
要約：
【要約】【課題】 被検物の一部分の像しか捉えることができない場合でも被検物の全輪郭形状の自動測定が可能な画像測定機を提供する。【解決手段】 XYステージ上にある被検物の像を捉えるCCDカメラ13と画像処理部21とを備えた画像測定機において、ステージを移動させるXYステージ駆動部10と、ステージ座標値を検出するステージ位置検出部11と、モニタ4の画面上で指標を移動させる指標移動部23と、指標の移動先である測定目標点が画面内にあるとき指標を測定目標点へ移動させ、かつ測定目標点が撮像範囲外に位置したとき、測定目標点が画面内の中央に位置するようにステージを移動させる制御を行なう輪郭形状測定部22とを備える。測定中に測定目標点が画面から外れると、測定目標点が画面内の中央にくるようにステージを移動させ、この後、指標を測定目標点へ移動させる。
請求項（抜粋）：
直交する2方向に移動可能なステージと、前記ステージ上に載置された被検物の像を光学系を介して捉え、捉えた像の光強度分布に応じた電気信号を出力する撮像手段と、前記電気信号を画像処理して被検物の輪郭形状に沿った複数の測定点のエッジを検出し、各測定点のエッジ座標値を表す信号を出力する画像処理手段とを備え、前記輪郭形状の測定を行なう画像測定機において、前記ステージを、入力される移動指令に基づき前記2方向に移動させるステージ駆動手段と、前記ステージの座標を検出し、前記各測定点でのステージ座標値を表す信号を出力するステージ座標検出手段と、前記撮像手段の撮像範囲内のエッジ検出領域を、入力される移動指令に基づき移動させる検出領域移動部と、前記エッジ検出領域が前記輪郭形状に沿って前記各測定点を順次移動するように、前記ステージ駆動手段及び前記検出領域移動部に移動指令を出力する制御手段とを備えていることを特徴とする画像測定機。
IPC (4件)：
G01B 11/00
, G01B 11/24
, G06T 9/20
, G12B 5/00
G01B 11/00 A
, G01B 11/24 F
, G12B 5/00 T
, G06F 15/70 340
