特許
J-GLOBAL ID：200903012293344500
ロードロック装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
中村 稔 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-312222
公開番号（公開出願番号）：特開平10-214871
出願日： 1997年11月13日
公開日（公表日）： 1998年08月11日
要約：
【要約】【課題】 中央チャンバに2つ以上のロードロックチャンバを取り付けた機能的なロードロック装置を提供する。【解決手段】 この中央チャンバは、シリコンウェハ上に集積回路を形成するための基板処理プラットホームのような真空チャンバ中の単一開口に取り付けられる。各ロードロックチャンバは、ロードロックチャンバが大気圧に開いているときにシール状態を維持する半シリンダバルブを備えるのが好ましい。各ロードロックチャンバ内に配置されるウェハカセットホルダが、半シリンダバルブが大気圧から真空チャンバをシールしている間に、装填されたり、取り出されたりできる。ロードロックチャンバが真空にあるとき、半シリンダバルブが開位置にピボット回転し、全体のウェハカセットがロードロックチャンバから中央チャンバに動く。
請求項（抜粋）：
基板処理プラットホームに取り付けるロードロック装置であって、中央チャンバと、該中央チャンバと処理プラットホームとの間で基板を移送するための開口とを有する中央ハウジングと、中央ハウジングに取り付けられ、各々がロードロックチャンバを備える、2つ以上のロードロックハウジングと、2つ以上の基板カセットホルダ、とを備え、各基板カセットホルダが、カセット移動器に取り付けられ、該カセット移動器が、中央チャンバと1つのロードロックチャンバとの間でカセットホルダを移送することを特徴とするロードロック装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/68 A
, B65G 49/00 C
