特許

J-GLOBAL ID：200903012303981466

表面高さ計測装置及び、これを用いた露光装置

発明者： 楢木 剛 ,  堀 和彦
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 飯塚 雄二 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-210635
公開番号（公開出願番号）：特開平10-038513
出願日： 1996年07月22日
公開日（公表日）： 1998年02月13日
要約：

【要約】【課題】 基板の表面高さを確実且つ高速で計測すること。【解決手段】 基板(16)の表面に対して斜め方向から計測用の光を照射する照射手段(64)と、計測用の光をスリット状に成形する光成形手段(66)と、光成形手段(66)を制御することによってスリット状の光(SL)の幅を変更する変更手段(67)とを備える。そして、変更手段(67)によって幅変更が施されたスリット状の光(SL)を基板表面に照射し、振動制御手段(76,86)によって、反射光をスリット幅方向に振動させる。振動制御手段で振動されたスリット状の光(SL)に基づき、検出手段(82,90)によって、基板(16)の表面の高さを検出する。

請求項（抜粋）：

基板の表面の高さを計測する表面高さ計測装置において、前記基板の表面に対して斜め方向から計測用の光を照射する照射手段と;前記計測用の光をスリット状に成形する光成形手段と;前記光成形手段を制御することによって前記スリット状の光の幅を変更する変更手段と;前記変更手段によって幅変更が施された前記スリット状の光を前記基板表面に照射し、その反射光をスリット幅方向に振動させる振動制御手段と;前記振動制御手段で振動された前記スリット状の光に基づいて、前記基板の表面の高さを検出する検出手段とを備えたことを特徴とする表面高さ計測装置。

IPC (3件)：

G01B 11/00 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/027

FI (4件)：

G01B 11/00 B ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 515 D ,  H01L 21/30 526 B