特許

J-GLOBAL ID：200903012306623536

集束ビームの測定方法

発明者： 河村 一郎
出願人/特許権者： 日本電子株式会社
代理人 (1件)： 井島 藤治 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-003077
公開番号（公開出願番号）：特開平9-190788
出願日： 1996年01月11日
公開日（公表日）： 1997年07月22日
要約：

【要約】【課題】 走査回路の精度をさほど問題とせず、高い精度で集束ビームの最小径等の測定を行うことができる集束ビームの測定方法を実現する。【解決手段】 電子ビームEBは、励磁電源10から対物レンズ3に供給される励磁電流を、制御装置11からの指示により、段階的に変化させることにより、その焦点距離は段階的に変えられる。また、各焦点距離において、電子ビームEBはナイフエッジ部材5を横切って走査させられる。各走査において、検出器6からの検出信号は微分される。微分回路13によって微分された信号は、ピーク検出装置14に供給される。ピーク検出装置14で検出されたピーク値は、ビーム径計算装置15に供給され、ビーム径が求められる。

請求項（抜粋）：

集束ビームを偏向する偏向器に走査信号を供給し、集束ビームを直線状のエッジを有した部材を横切って走査し、この走査に伴って検出された集束ビームの信号を微分して微分信号のピーク値を検出すると共に、この走査と信号の微分処理,ピーク値の検出を集束ビームの焦点位置を変化させて多数回行い、ピーク値の変化曲線に基づいて集束ビームの最小径を測定するようにした集束ビームの測定方法。