特許

J-GLOBAL ID：200903012309601533

多層膜光学部品およびその製造方法

発明者： 藤村 秀彦
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 阪本 善朗
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-083176
公開番号（公開出願番号）：特開平8-254612
出願日： 1995年03月15日
公開日（公表日）： 1996年10月01日
要約：

【要約】【目的】 TiO2 膜とMgF2 膜を用いて良質で安価な多層膜を製作する。【構成】 ガラス製の基板10上にTiO2 膜11とMgF2 膜12を交互に6層ずつそれぞれ酸素イオンをイオンアシストとするイオンアシスト蒸着法によって成膜して高反射膜を製作する。TiO2 膜11は、イオンアシスト蒸着法によって成膜すると内部応力が圧縮応力となり、MgF2 膜12の引張応力を相殺するため、高反射膜の内部歪みが大幅に低減されクラックの発生を回避できる。また、MgF2 膜12をイオンアシスト蒸着法によって成膜すると、フッ素脱離を抑え、パッキング密度を向上させ、波長シフトの少ない膜を形成することができる。

請求項（抜粋）：

基体の表面に交互に積層された複数対のTiO2 膜とMgF2 膜からなる多層膜を有し、各対の前記TiO2 膜の内部応力が圧縮応力であり、前記MgF2 膜の内部応力が引張応力であることを特徴とする多層膜光学部品。

IPC (4件)：

G02B 5/28 ,  C23C 14/08 ,  C23C 14/48 ,  G02B 5/08

FI (4件)：

G02B 5/28 ,  C23C 14/08 E ,  C23C 14/48 D ,  G02B 5/08 A