試料作製装置および試料作製方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：作田康夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-167930
公開番号（公開出願番号）：特開2004-301853
出願日： 2004年06月07日
公開日（公表日）： 2004年10月28日
要約：

【課題】試料作製から観察までの作業が簡便で、試料作製が一つの装置内ででき、作製試料の分析装置への受け渡しが容易な試料作製装置を提供すること。【解決手段】少なくとも、イオンビームの照射光学系と、上記イオンビームの照射によって試料片から発生する二次粒子を検出する二次粒子検出手段と、上記試料片を載置し、分析試料を固定する試料ホルダを載置するサイドエントリ型の試料ステ-ジと、上記試料片の一部を分離した摘出試料を試料ホルダに移し変える移送手段とで試料作製装置を構成する。【効果】試料作製から観察までの作業が簡便で、試料作製が一つの装置内ででき、作製試料の分析装置への受け渡しが容易になり、試料破損の可能性を減少できる。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

イオンビームの照射光学系と、上記イオンビームの照射によって発生する二次粒子を検出する二次粒子検出手段と、試料片の一部を分離した摘出試料を試料ホルダに移し変える移送手段と、サイドエントリ型試料ステージを搭載して微動させる試料ステージ微動手段を少なくとも有し、さらに、上記サイドエントリ型試料ステージが上記試料片を載置する第1試料ステ-ジ、および、上記摘出試料を載置する試料ホルダを着脱できる第2試料ステ-ジであることを特徴とする試料作製装置。

IPC (8件)：

G01N1/28 , G01N1/32 , G01N13/10 , G01N23/00 , G01N27/62 , H01J37/20 , H01J37/30 , H01J37/317

FI (10件)：

G01N1/28 G , G01N1/32 B , G01N13/10 D , G01N13/10 F , G01N23/00 , G01N27/62 F , H01J37/20 A , H01J37/20 Z , H01J37/30 Z , H01J37/317 D

Fターム (55件)：

2G001AA01 , 2G001AA03 , 2G001AA04 , 2G001AA05 , 2G001AA10 , 2G001BA05 , 2G001BA06 , 2G001BA07 , 2G001BA08 , 2G001BA09 , 2G001BA11 , 2G001BA30 , 2G001CA01 , 2G001CA03 , 2G001CA05 , 2G001CA10 , 2G001GA06 , 2G001HA13 , 2G001JA07 , 2G001JA13 , 2G001LA11 , 2G001MA05 , 2G001PA01 , 2G001PA02 , 2G001PA07 , 2G001PA11 , 2G001PA12 , 2G001PA14 , 2G001PA15 , 2G001QA01 , 2G001QA10 , 2G001RA04 , 2G001RA06 , 2G001RA08 , 2G001RA20 , 2G052AD32 , 2G052CA43 , 2G052EC14 , 2G052EC18 , 2G052EC22 , 2G052FD20 , 2G052GA11 , 2G052GA18 , 2G052GA36 , 5C001AA01 , 5C001AA02 , 5C001AA06 , 5C001BB07 , 5C001CC03 , 5C001CC08 , 5C034AA02 , 5C034AB04 , 5C034BB06 , 5C034BB09 , 5C034DD09

引用特許：

出願人引用 (1件)

集束イオンビーム装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-247601 出願人：株式会社日立製作所

審査官引用 (7件)

試料作製装置および試料作製方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-333681 出願人：株式会社日立製作所
集束イオンビーム装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-247601 出願人：株式会社日立製作所
試料の分離方法及びこの分離方法で得た分離試料の分析方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-210803 出願人：株式会社日立製作所

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