特許

J-GLOBAL ID：200903012311307103

質量流量センサ

発明者： 戸田 敬 ,  福島 欣
出願人/特許権者： 株式会社エステック
代理人 (1件)： 藤本 英夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-214220
公開番号（公開出願番号）：特開平8-054268
出願日： 1994年08月15日
公開日（公表日）： 1996年02月27日
要約：

【要約】【目的】 管路に設けられたセンサに対する環境温度の影響を可及的に少なくすることにより、精度の高い流量測定を行うことができる質量流量センサを提供すること。【構成】 内部に流体Gが流れる管路1の表面にヒータ2を設けるとともに、このヒータ2の上流側、下流側の管路1の表面にそれぞれ第1温度センサ9と第2温度センサ10を設けた質量流量センサにおいて、前記管路1の第1温度センサ9の上流側および第2温度センサ10の下流側にそれぞれ放熱器3,4を設け、これらの放熱器3,4の温度を常に一定温度に保持するように構成した。

請求項（抜粋）：

内部に流体が流れる管路の表面にヒータを設けるとともに、このヒータの上流側、下流側の管路の表面にそれぞれ第1温度センサと第2温度センサを設けた質量流量センサにおいて、前記管路の第1温度センサの上流側および第2温度センサの下流側にそれぞれ放熱器を設け、これらの放熱器の温度を常に一定温度に保持するように構成したことを特徴とする質量流量センサ。

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開平4-095820
  
• 熱式流量計
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-268939   出願人：トキコ株式会社