特許
J-GLOBAL ID：200903012325754528
クリーンルーム排気システム
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-025539
公開番号（公開出願番号）：特開2004-233021
出願日： 2003年02月03日
公開日（公表日）： 2004年08月19日
要約：
【課題】クリーンルームを低額な初期設備費用で有害ガス取り扱いに対応できるようにする。【解決手段】クリーンルーム本体2内部に水素ガス濃度検知器(有害ガス濃度測定装置)73を設け、制御装置71により水素ガス(有害ガス)濃度を測する。水素ガス濃度が所定濃度値を超えた時には、窒素ガス弁63が開き、循環ダンパ33、排気ダンパ52、ノズル53dに窒素ガスが加圧される。窒素ガス弁63が開くことで、循環ダンパ33が閉じ、排気ダンパ52が開くとともにノズル53dから窒素ガスが噴射される。窒素ガス噴射によりベンチュリ管53で発生する陰圧によって、クリーンルーム本体2から空気が排出される。クリーンルーム1を上述の構成とすることで、有害ガスを取り扱うクリーンルームに対応し、空調装置の負荷が軽減され、クリーンルームの安全性、経済性に寄与する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
外部に対して内部が陽圧に保たれるクリーンルーム本体と、
両端が前記クリーンルーム本体に接続され、一端から前記クリーンルーム本体内部の空気を吸入し、他端から空気を吹き出す循環ダクトと、
前記循環ダクト経路内部に設けられ、前記空気を濾過するフィルタと、
前記循環ダクトの一端部を不活性ガスの圧力により略閉じる循環ダクト開閉手段と、
前記循環ダクト開閉手段と前記フィルタの間で前記循環ダクト中間部に接続され、前記クリーンルーム本体外部の空気を循環ダクト中間部内部に取り込む外気取込ダクトと、
一端が前記クリーンルーム本体に接続され、ダクト内部で前記不活性ガスを噴射し、前記クリーンルーム本体内部の空気を外部に排気するベンチュリ管を他端部に有する排気ダクトと、
前記排気ダクトの一端部を前記不活性ガスの圧力により開ける排気ダクト開閉手段と、
前記循環ダクト開閉手段、前記排気ダクト開閉手段、及び前記ベンチュリ管に前記不活性ガスを、不活性ガス弁を介して供給する不活性ガス供給システムと、
前記クリーンルーム本体内部の有害ガス濃度を検知する検知器及びその濃度を測定する測定装置を有する制御ユニットと、を備え、
前記制御ユニットは前記クリーンルーム本体内部の有害ガス濃度が所定濃度値を超えた時に、前記循環ダクト開閉手段を略閉じ、前記排気ダクト開閉手段を開け、且つ前記ベンチュリ管が前記不活性ガスを噴射する側に前記不活性ガス弁を開く制御装置を有することを特徴とするクリーンルーム排気システム。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (3件)：
3L058BE02
, 3L058BF09
, 3L058BG04
