特許
J-GLOBAL ID:200903012328672360
研磨フィルム
発明者:
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出願人/特許権者:
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代理人 (1件):
倉内 基弘 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平5-229687
公開番号(公開出願番号):特開平7-060651
出願日: 1993年08月24日
公開日(公表日): 1995年03月07日
要約:
【要約】【目的】 研磨時にスクラッチを生じない研磨フィルムを提供すること。【構成】 フィルム基体上に希土類鉱物のフッ化炭酸塩鉱物であるバストネサイト(Ce,La)(CO3 )Fの焼成粉をバインダー樹脂中に分散させてなる研磨層を形成したことを特徴とする研磨フィルム。
請求項(抜粋):
フィルム基体上に希土類鉱物のフッ化炭酸塩鉱物であるバストネサイト(Ce,La)(CO3 )Fの焼成粉をバインダー樹脂中に分散させてなる研磨層を形成したことを特徴とする研磨フィルム。
IPC (2件):
B24D 11/00
, B24D 3/00 320
引用特許:
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