特許
J-GLOBAL ID：200903012332295113
投光装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
伊東 忠彦 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-287972
公開番号（公開出願番号）：特開平5-129394
出願日： 1991年11月01日
公開日（公表日）： 1993年05月25日
要約：
【要約】【目的】 本発明は半導体装置におけるリードを光学的手段により外観検査を行うための投光装置に関し、複数のシート状照射光の強度を均一にすることを目的とする。【構成】 光源31からの光線32を回転板52に形成された孔53により点滅させる。点滅する光線32を振動鏡54及びスキャンレンズ55により走査して、凹型シリンドリカルレンズ35により複数のシート状照射光32a〜32eを照射させる。
請求項（抜粋）：
被検査体(43)上に照射された照射光(32a〜32e)の反射光により、該被検査体(43)の外観を検査するために使用される投光装置において、光源(31)と、該光源(31)からの光線(32)を所定時間間隔で点滅させる点滅手段(33)と、該点滅手段(33)からの点滅する光線(32)を走査する走査手段(34)と、該走査手段(34)より走査された複数の光線(32)のそれぞれをシート状照射光(32a〜32e)に整形する整形手段(35)と、を有することを特徴とする投光装置。
IPC (2件)：
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