特許
J-GLOBAL ID:200903012341030033

生産管理装置および生産管理方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 鈴木 喜三郎 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平5-186437
公開番号(公開出願番号):特開平7-044614
出願日: 1993年07月28日
公開日(公表日): 1995年02月14日
要約:
【要約】【目的】単一の生産ラインにおいて多品種の集積回路を混合して生産する半導体プロセス等に用いて好適な生産管理装置および該装置を用いた生産管理方法に関する。処理待ちロットをロット収容スペースに余裕があるストッカー内でスケジューリングすることにより、将来的な負荷変動、工程変動に対して柔軟性のある、効率良い生産形態を実現する。【構成】管理手段は、処理待ちロットを製造ラインに接続された第2のストッカーまで直接搬送せず、他工程との間で生産ロットを搬送するための第1のストッカーに一旦待機させ、この第1のストッカー内の生産ロットを対象として、ロット情報と生産状況に基づいて、次の製造処理開始のタイミングを勘案し、次に製造処理を行うべき生産ロットを選択して、前記第1のストッカーから前記第2のストッカーへ搬送する内容の搬送指示情報を形成する。
請求項(抜粋):
少なくとも生産ロット毎に付与され、前記生産ロットの属性を表すロット情報と、前記生産ロットの搬送状態を示す第1の状態情報および前記生産ロットの処理状態を示す第2の状態情報により形成される生産状況とに対応して、次の製造処理開始のタイミングを勘案し、次に製造処理を行うべき生産ロットの搬送指示情報と、次に行う製造処理の内容を規定する生産指示情報を発生する管理手段と、前記搬送指示情報に従って所定の生産ロットを搬送すると共に、前記第1の状態情報を生成して出力する搬送手段と、この搬送手段により搬送される前記生産ロットに対し、前記生産指示情報に応じた内容の製造処理を施すと共に、前記第2の状態情報を生成して出力する製造手段とを具備することを特徴とする生産管理装置。
IPC (4件):
G06F 17/60 ,  H01L 21/02 ,  B23Q 41/02 ,  B23Q 41/08
引用特許:
審査官引用 (3件)

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