特許

J-GLOBAL ID：200903012341216439

光走査型顕微鏡

発明者： 安達 晃 ,  黒岩 義典
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-142189
公開番号（公開出願番号）：特開平8-334698
出願日： 1995年06月08日
公開日（公表日）： 1996年12月17日
要約：

【要約】【目的】 試料の方向と走査方向を容易かつ短時間で一致させることができる光走査型顕微鏡を提供する。【構成】 光源10からの光を試料1に対して走査させるスキャニングユニット13と、試料1からの光を検出する検出手段19とを備えた光走査型顕微鏡において、スキャニングユニット13から試料1に至る光路中に、試料1に対する走査方向を回転させる回転手段20を設ける。

請求項（抜粋）：

光源からの光を試料に対して走査させるスキャニングユニットと、試料からの光を検出する検出手段とを備えた光走査型顕微鏡において、前記スキャニングユニットから前記試料に至る光路中に、前記試料に対する走査方向を回転させる回転手段を設けたことを特徴とする、光走査型顕微鏡。