特許

J-GLOBAL ID：200903012345439890

チタンまたはチタン化合物の薄膜形成装置

発明者： 榎本 正幸 ,  小林 茂樹
出願人/特許権者： 住友金属工業株式会社
代理人 (1件)： 井内 龍二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-345796
公開番号（公開出願番号）：特開平6-196437
出願日： 1992年12月25日
公開日（公表日）： 1994年07月15日
要約：

【要約】【構成】 プラズマによって試料を処理する反応容器10を備えたTiまたはTi化合物の薄膜形成装置において、反応容器10内の防着板21〜27にTi、Ti合金で形成されたものあるいはTi化合物が表面に溶射されたものを用いているTiまたはTi化合物の薄膜形成装置。【効果】 防着板21〜27がスパッタ作用を受けた場合、放出される元素が成膜物質と同一物質であるため、ウエハが重金属により汚染されることを防止することができる。また、防着板21〜27は塩化物等の腐食性ガスに対する耐食性を有するため、防着板21〜27はもとより反応容器10が反応ガスによって腐食されるのを抑制することができる。

請求項（抜粋）：

プラズマによって試料を処理する反応容器を備えたチタンまたはチタン化合物の薄膜形成装置において、前記反応容器内の構成部品としてチタン、チタン合金で形成された部品あるいはチタン化合物が表面に溶射された部品を用いていることを特徴とするチタンまたはチタン化合物の薄膜形成装置。

IPC (2件)：

H01L 21/28 301 ,  H05H 1/46

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開昭58-151469
  
• 特開平3-166362
  
• 特開平2-270964