特許

J-GLOBAL ID：200903012357148859

感光性組成物

発明者： 早瀬 修二 ,  中野 義彦 ,  御子神 ▲ゆき▼公
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-173183
公開番号（公開出願番号）：特開平5-230380
出願日： 1992年06月30日
公開日（公表日）： 1993年09月07日
要約：

【要約】【目的】 断面形状が良好であり、且つ解像性の優れたポリシラン膜パターンを形成することが可能な感光性組成物を提供することを目的とする。【構成】 下記一般式(1)で表される反復単位を有するポリシランと、露光により酸を発生する化合物とを含有する。【化1】但し、R1 およびR2 は、夫々独立に水素原子、炭素数1〜18の置換もしくは非置換アルキル基、炭素数6〜18の置換もしくは非置換アリール基、または炭素数7〜22の置換もしくは非置換アラルキル基を表す。【効果】 DeepUV光、EB等による露光および現像処理を施すことによって、高感度を示し、微細なポリシラン膜パターンを形成することができる。また、ポリシランの側鎖に、水酸基、アルコキシル基、シロキシル基により置換された芳香環が導入されている場合、アルカリ現像処理を採用できる。

請求項（抜粋）：

下記一般式(1)で表される反復単位を有するポリシランと、露光により酸を発生する化合物とを含有する感光性組成物。【化1】式中、R1 およびR2 は、夫々独立に水素原子、炭素数1〜18の置換もしくは非置換アルキル基、炭素数6〜18の置換もしくは非置換アリール基、または炭素数7〜22の置換もしくは非置換アラルキル基を表す。

IPC (6件)：

C08L 83/16 LRM ,  C08K 5/00 ,  G03F 7/004 503 ,  G03F 7/029 ,  G03F 7/039 501 ,  G03F 7/075 511

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開昭62-153852
  
• 特開平2-296801