特許

J-GLOBAL ID：200903012362120393

静電チャック

発明者： 梅津 基宏 ,  石井 守 ,  丹治 清一 ,  石田 弘徳 ,  和田 千春
出願人/特許権者： 太平洋セメント株式会社
代理人 (1件)： 高山 宏志
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-362272
公開番号（公開出願番号）：特開2000-183143
出願日： 1998年12月21日
公開日（公表日）： 2000年06月30日
要約：

【要約】【課題】 エッチング処理等に使用する際に反りが生じず、かつ高い静電吸着力を得ることができ、大型化に対応可能な静電チャックを提供すること。【解決手段】 ウエハWの吸着面2aを有する絶縁層基板2の吸着面2aとは反対側の面に電極層3,3’を形成し、その電極層形成面を接着剤により支持基板5に接着して静電チャック1,1’を構成する。絶縁層基板2は、室温での体積抵抗率が108〜1013Ωcmであり、支持基板5は絶縁層基板2と実質的に同一材料からなり、絶縁層基板2と支持基板5との間に絶縁スペーサー6が介装されている。

請求項（抜粋）：

被吸着体の吸着面を有する絶縁層基板の吸着面とは反対側の面に電極層を形成し、その電極層形成面を接着剤により支持基板に接着した構造を有する静電チャックであって、前記絶縁層基板は、室温での体積抵抗率が108〜1013Ωcmであり、前記支持基板は前記絶縁層基板と実質的に同一材料からなり、前記絶縁層基板と前記支持基板との間に絶縁スペーサーが介装されていることを特徴とする静電チャック。

Fターム (8件)：

5F031CA02 ,  5F031HA02 ,  5F031HA03 ,  5F031HA16 ,  5F031MA29 ,  5F031MA32 ,  5F031PA13 ,  5F031PA16