特許
J-GLOBAL ID:200903012371609591
ガラス基板の研削方法
発明者:
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出願人/特許権者:
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代理人 (1件):
小山 有 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-173855
公開番号(公開出願番号):特開2001-001241
出願日: 1999年06月21日
公開日(公表日): 2001年01月09日
要約:
【要約】【課題】 高能率で、且つ平坦度や厚みの均一性などを満足するガラス基板の研削方法を提供する。【解決手段】 ベルト状キャリア4により保持されたガラス基板3を回転する一対の研削砥石1,2の間を通過させて、ガラス基板3の両面を同時に研削するガラス基板の研削方法において、一対の研削砥石1,2を、その研削面を平行にして同一の軸心で回転するよう配置し、ガラス基板3を研削砥石1,2の間に一定時間留まらせると共に、研削砥石1,2を互いに前進させることによるガラス基板3の研削中に、ベルト状キャリア4を前進・後退の往復運動させることによりガラス基板3を一対の研削砥石1,2の間で往復動させる。
請求項(抜粋):
搬送手段により保持されたガラス基板を回転する一対の研削砥石の間を通過させて、前記ガラス基板の両面を同時に研削するガラス基板の研削方法において、前記一対の研削砥石を、その研削面を平行にして同一の軸心で回転するよう配置し、前記ガラス基板を前記研削砥石の間に一定時間留まらせると共に、前記研削砥石を互いに前進させることにより前記ガラス基板の両面を研削することを特徴とするガラス基板の研削方法。
IPC (2件):
FI (2件):
B24B 7/17 A
, B24B 1/00 D
Fターム (10件):
3C043BC04
, 3C043BC06
, 3C043CC04
, 3C049AA04
, 3C049AA09
, 3C049AB03
, 3C049AB08
, 3C049AC04
, 3C049CA06
, 3C049CB01
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