特許

J-GLOBAL ID：200903012371726938

位相差板

発明者： 是永 継博 ,  内田 真司
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 小鍜治 明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-265326
公開番号（公開出願番号）：特開平8-122523
出願日： 1994年10月28日
公開日（公表日）： 1996年05月17日
要約：

【要約】【目的】 従来、斜め柱状構造膜を用いた位相差板にて大きな課題であった膜剥離を解決し、実用レベルの信頼性をもつ低コストな位相差板を提供する。【構成】 ニオブ酸リチウム基板11の両面に、斜め柱状構造を有する複屈折膜(Ta2O5膜)12を形成する。この場合、各面に形成する複屈折膜12の厚みは、片面に形成する場合の1/2とする。【効果】 上記構成によれば、片面での膜厚を薄くできるので、複屈折膜の内部応力を低減でき、基板と複屈折膜との付着の信頼性を向上できる。光学特性は、片面に一括して膜を形成した場合と同等である。

請求項（抜粋）：

所望の膜厚の斜め柱状構造の膜を、基板の対向する二面に、分割して形成したことを特徴とする位相差板。