特許

J-GLOBAL ID：200903012394455915

帯状体の乾燥方法およびその装置

発明者： 平山 和成 ,  細野 洋史
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 樺澤 襄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-196854
公開番号（公開出願番号）：特開平11-037649
出願日： 1997年07月23日
公開日（公表日）： 1999年02月12日
要約：

【要約】【課題】 帯状体を均一に乾燥できる乾燥装置を提供する。【解決手段】 鉄帯11をローラ13により搬送し、パイプドクターノズル15からコーティングローラ14にレジスト16を塗布し、鉄帯11に転写する。鉄帯11を水平にしてレジスト16を上面にし、鉄帯11の表面をヒータ2211,2212,......,225n-1,225nにより加熱してレジスト16を乾燥させる。鉄帯11の表面をカメラ25によって幅方向を撮像し、画像処理装置32によって温度分布を求め、鉄帯11の温度分布をサーモピュアにより測定し、モニタ装置34上に色付けして表示する。この温度分布の信号を演算処理装置33によって演算処理し、鉄帯11のエリア毎に鉄帯11の幅方向に対応する温度を求め、所望の設定温度になるように、対応するヒータ群221 ,222 ,223 ,224 ,225 の温度を、温度調節器311 ,312 ,313 ,314 ,315 をPID制御して調整する。

請求項（抜粋）：

帯状体の幅方向に分割して配設された複数個のヒータで塗布物が塗布された前記帯状体を長手方向に沿って相対的に移動しながら加熱し、前記複数個のヒータで加熱された帯状体の温度を測定し、この温度分布が測定された帯状体の幅方向の温度分布を求め、この幅方向の温度分布に基づき前記ヒータを調節することを特徴とする帯状体の乾燥方法。

IPC (4件)：

F26B 13/10 ,  F26B 25/00 ,  H01J 9/14 ,  C23F 1/00 102

FI (4件)：

F26B 13/10 B ,  F26B 25/00 A ,  H01J 9/14 H ,  C23F 1/00 102