アルミニウム用エツチング液およびエツチング方法並びにアルミニウムエツチング製品

発明者： , , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：柳野隆生
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-290646
公開番号（公開出願番号）：特開平5-106065
出願日： 1991年10月09日
公開日（公表日）： 1993年04月27日
要約：

【要約】【目的】新規なアルミニウム用エッチング液およびエッチング方法により、銅のエッチングにも劣らない微細パターンを製造可能としてアルミニウムエッチング製品の応用分野を拡大する。【構成】〔R1,R2,R3 ;Hまたはアルキル基、但し、R1,R2,R3 の少なくとも1つはアルキル基であり、R1,R2,R3 の炭素数の合計は12以下〕で表される脂肪族第一、第二、または第三アミンのフッ酸塩と酸化剤を含有する水溶液からなるエッチング液を用いる。

請求項（抜粋）：