特許

J-GLOBAL ID：200903012404786001

液晶滴下装置及び液晶滴下方法

発明者： 古川 訓朗
出願人/特許権者： 富士通株式会社
代理人 (1件)： 横山 淳一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-087231
公開番号（公開出願番号）：特開2001-272640
出願日： 2000年03月27日
公開日（公表日）： 2001年10月05日
要約：

【要約】【課題】 マイクロシリンジを使用して基板上に液晶を滴下する際の、滴下量のばらつきを抑え、且つマイクロシリンジ内への液晶の頻繁な補充を省く。【解決手段】 液晶タンク4と流路を切り替える切換弁1とを備えた液晶滴下装置を使用し、液晶タンク4から切換弁1を介して回収容器5に連通する流路を形成して液晶Lを切換弁1の通路3aに充填した後、液晶タンク4から切換弁1を介してマイクロシリンジ6に連通する流路を形成して液晶Lをマイクロシリンジ6に取り込み、次にマイクロシリンジ6から切換弁1を介して滴下ノズル9に連通する流路に切り換えて液晶Lをピストン7の精密送りによりマイクロシリンジ6から所定量だけ吐出し、次に圧縮気体源Gから切換弁1を介して滴下ノズル9に連通する流路に切り換えて圧縮気体を導入することでその流路内の液晶L全量を滴下ノズル9から吐出する。

請求項（抜粋）：

液晶を貯留する液晶タンクと、マイクロシリンジと、該マイクロシリンジのピストンを設定量だけ移動させるピストン精密送り機構と、滴下ノズルと、流路を切り換える切換弁とを有し、該切換弁の切り換えにより形成される流路は、該液晶タンクから該切換弁を介して該マイクロシリンジに連通する第一の流路と、該マイクロシリンジから該切換弁を介して該滴下ノズルに連通する第二の流路と、圧縮気体源から該切換弁を介して該滴下ノズルに連通する第三の流路とが含まれ、該第一の流路は該マイクロシリンジに液晶を取り込み、該第二の流路は液晶を該ピストン精密送り機構により該マイクロシリンジから所定量だけ吐出し、該第三の流路は液晶を該滴下ノズルから吐出するものであることを特徴とする液晶滴下装置。

Fターム (4件)：

2H088FA09 ,  2H088FA24 ,  2H088FA30 ,  2H088MA20