特許
J-GLOBAL ID:200903012405005844
誘電体ペースト及びそれから得られる誘電体膜
発明者:
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出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-250932
公開番号(公開出願番号):特開2000-080271
出願日: 1998年09月04日
公開日(公表日): 2000年03月21日
要約:
【要約】【課題】 有機溶剤中にポリイミド前駆体と誘電体粉末が高い固形分比率で含有していても低粘度で、塗工が容易である誘電体ペースト、及びこの誘電体ペーストから得られ、表面が平滑で、均一な膜厚の誘電体膜を提供する。【解決手段】 ポリイミド前駆体を形成する特定構造の芳香族ジアミンと特定構造の芳香族テトラカルボン酸及び/又はそのエステルとが有機溶剤中に溶解しており、ポリイミド前駆体の濃度が5〜80重量%であるポリイミド前駆体ワニスに、誘電体粉末が含有している誘電体ペースト、この誘電体ペーストを基板に塗布し、加熱して得られるポリイミドをバインダーとする誘電体膜。
請求項(抜粋):
ポリイミド前駆体を形成する式(1)に示すジアミンと式(2)に示すテトラカルボン酸及び/又はそのエステルとが有機溶剤中に溶解していて、これらの濃度が5〜80重量%であるポリイミド前駆体ワニス中に、誘電体粉末が含有していることを特徴とする誘電体ペースト。【化1】(式中R1 、R2 はそれぞれ構造式群1及び構造式群2から選ばれ、R3 〜R8はそれぞれ水素原子又は炭素数1〜5のアルキル基を示し、mは0〜10の整数を示す。)
IPC (5件):
C08L 79/08
, C08K 3/22
, C08K 3/24
, C09D 5/25
, C09D179/08
FI (5件):
C08L 79/08 A
, C08K 3/22
, C08K 3/24
, C09D 5/25
, C09D179/08 Z
Fターム (15件):
4J002CM001
, 4J002DE096
, 4J002DE146
, 4J002DE186
, 4J002DF016
, 4J002DJ006
, 4J002FD206
, 4J002GQ00
, 4J002HA08
, 4J038DJ031
, 4J038HA216
, 4J038HA246
, 4J038KA06
, 4J038KA20
, 4J038NA17
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