特許

J-GLOBAL ID：200903012406727762

洗浄に用いる組成物

発明者： 北村 健郎 ,  大西 啓一 ,  大歳 幸男 ,  宇佐見 陽子
出願人/特許権者： 旭硝子株式会社
代理人 (1件)： 泉名 謙治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-357294
公開番号（公開出願番号）：特開平5-171188
出願日： 1991年12月25日
公開日（公表日）： 1993年07月09日
要約：

【要約】【目的】従来のトリクロロトリフルオロエタンが有する優れた特性を保持しながらオゾン層へ全く影響を与えない代替洗浄溶剤組成物を提供する。【構成】(A)1-トリフルオロメチル-1,2,2-トリフルオロフルオロシクロブタンを必須成分とし、これに(B)アルカン類、アルコール類などの可溶な溶剤及び/又は(C)非イオン系界面活性剤を配合してなる。

請求項（抜粋）：

(A) 1-トリフルオロメチル-1,2,2- トリフルオロシクロブタン、 (B)1-トリフルオロメチル-1,2,2- トリフルオロシクロブタンに可溶な溶剤、及び (C)非イオン系界面活性剤とからなる洗浄に用いる組成物。

IPC (8件)：

C11D 7/50 ,  B01D 12/00 ,  C09D 7/12 PSL ,  C09D 9/04 PSU ,  C23G 5/028 ,  H01L 21/304 341 ,  C11D 7:24 ,  C11D 7:30