特許
J-GLOBAL ID：200903012420250421
ブラックマトリックス検査装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
滝本 智之 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-075254
公開番号（公開出願番号）：特開平11-273570
出願日： 1998年03月24日
公開日（公表日）： 1999年10月08日
要約：
【要約】【課題】 本発明は高精細化、大画面化するカラー管のブラックマトリックス、ラッカー等の検査を高性能にしかも低コストで実現するするブラックマトリックス検査装置を実現することを目的とする。【解決手段】 カラー管のブラックマトリックスという塗布工程後の塗布状態の検査において、塗布側をカメラ等で撮像する手段と、撮像時にカメラへの入射光路をずらす手段とを備えることにより、高性能に旧コストの検査を行うことができる。
請求項（抜粋）：
カラー管のブラックマトリックスを塗布工程後の塗布状態の検査において、塗布側を撮像する撮像手段と、撮像時に撮像手段への入射光路を変化させる手段とを備えることを特徴とするブラックマトリックス検査装置。
IPC (3件)：
H01J 9/42
, G01N 21/88
, H01J 9/227
H01J 9/42 A
, G01N 21/88 Z
, H01J 9/227 D
