特許
J-GLOBAL ID：200903012424588249
半導体製造装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
石戸 元
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-149712
公開番号（公開出願番号）：特開平8-017892
出願日： 1994年06月30日
公開日（公表日）： 1996年01月19日
要約：
【要約】【目的】 フロントシャッタに人の手等が挟み込まれる危険性がなく、安全で安価であり、仕様変更によって部品を変える必要がない装置を提供する。【構成】 ウェーハカセットを出し入れする際に使用する開口のフロントシャッタ3に、該フロントシャッタ3への挟み込み防止に供するマイクロスイッチ7を取付け、このマイクロスイッチ7を作動させる接触板5を前記フロントシャッタ3に板バネ6で固定してなる。
請求項（抜粋）：
ウェーハカセットを出し入れする際に使用する開口のフロントシャッタに、該フロントシャッタへの挟み込み防止に供するマイクロスイッチを取付け、このマイクロスイッチを作動させる接触板を前記フロントシャッタに板バネで固定してなることを特徴とする半導体製造装置。
IPC (2件)：
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