特許

J-GLOBAL ID：200903012425970090

実装方法および装置

発明者： 山内 朗
出願人/特許権者： 東レエンジニアリング株式会社
代理人 (1件)： 伴 俊光
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-123780
公開番号（公開出願番号）：特開2003-318219
出願日： 2002年04月25日
公開日（公表日）： 2003年11月07日
要約：

【要約】【課題】 エネルギー波もしくはエネルギー粒子により効率よくかつ均一に接合面を洗浄できるようにし、また、チャンバ内で洗浄する際にも、対向チャンバ壁面エッチングによる不純物付着の問題を回避できるようにした実装方法および装置を提供する。【解決手段】 対向する両被接合物間に形成される間隙内に、一つの照射手段によりエネルギー波もしくはエネルギー粒子を照射してチャンバー壁面からの不純物の反射を防ぎながら両被接合物の接合面を実質的に同時洗浄するとともに、洗浄中に少なくとも一方の被接合物を回転させ、洗浄された被接合物間の相対位置をアライメント後、被接合物同士を接合することを特徴とする実装方法および装置。

請求項（抜粋）：

対向する両被接合物間に形成される間隙内に、一つの照射手段によりエネルギー波もしくはエネルギー粒子を照射して両被接合物の接合面を実質的に同時洗浄するとともに、洗浄中に少なくとも一方の被接合物を回転させ、洗浄された被接合物間の相対位置をアライメント後、被接合物同士を接合することを特徴とする実装方法。

IPC (2件)：

H01L 21/60 311 ,  B23K 15/00 508

FI (2件)：

H01L 21/60 311 Q ,  B23K 15/00 508

Fターム (4件)：

4E066BA13 ,  5F044LL01 ,  5F044LL04 ,  5F044RR00