原版搬送装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：永井冬紀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-315522
公開番号（公開出願番号）：特開平11-147613
出願日： 1997年11月17日
公開日（公表日）： 1999年06月02日
要約：

【要約】【課題】レチクルが収容されたケースをケースライブラリにセットするだけで露光前にレチクルに行う必要がある各種の処理を自動的に行う。【解決手段】レチクルRが収容されているケース31がケースライブラリ11に挿入され、ケース検出器114でケース31がケースライブラリ11に収容されたことが検出されると、ケース31はケースロック機構112によりロックされる。搬送アーム121はレチクルRをケース31から抜き取り、バーコードリーダ13まで搬送する。バーコードリーダ13は、レチクルRのバーコードBCを読取る。制御装置17はその読取り結果をホストコンピュータ20に通信する。ホストコンピュータ20は読取り結果に基づいてレチクルを識別し、レチクルRをレチクル洗浄機14、ゴミ検査機15もしくはペリクル貼付機16のいずれに搬送するか指示する。

請求項（抜粋）：

原版が収容されたケースを複数個収容するケースライブラリと、前記ケースライブラリに収容されているケースの中の原版を各種処理装置へ搬送する搬送装置とを有する原版搬送装置において、前記ケースが前記ケースライブラリに収容されたことを検出する検出手段と、前記原版を識別する識別手段と、前記ケースが前記ケースライブラリに収容されたことが前記検出手段で検出されると、前記識別手段による識別結果にしたがって前記原版を前記搬送装置によりいずれかの処理装置へ搬送するように指令を行う制御手段とを具備することを特徴とする原版搬送装置。

IPC (5件)：

B65G 49/07 , B65G 1/00 501 , G03F 1/14 , H01L 21/027 , H01L 21/68

FI (5件)：

B65G 49/07 L , B65G 1/00 501 A , G03F 1/14 J , H01L 21/68 A , H01L 21/30 503 E

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