特許

J-GLOBAL ID：200903012429758398

カンチレバー状変位素子

発明者： 河出 一佐哲 ,  瀧本 清 ,  貴志 悦朗 ,  矢野 亨治
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 豊田 善雄 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-089478
公開番号（公開出願番号）：特開平6-281443
出願日： 1993年03月25日
公開日（公表日）： 1994年10月07日
要約：

【要約】【目的】 トンネル電流検出装置や走査型トンネル顕微鏡等に用いられ、2軸駆動可能な静電駆動型変位素子を提供する。【構成】 互いに平行でない2面に静電駆動用電極4が設けられているカンチレバー2と、該カンチレバー2を支持し互いに平行でない2面に静電駆動用電極4に対向して対向電極2が設けられている基板1とで基本的構成を成すカンチレバー状変位素子。

請求項（抜粋）：

カンチレバーに設けられた静電駆動用電極と該静電駆動用電極に対向して上記カンチレバーを支持する基板上に設けられた対向電極との間に働く静電気力によって駆動するカンチレバー状変位素子において、上記静電駆動用電極及び上記対向電極が互いに平行でない複数の面上に設けられていることを特徴とするカンチレバー状変位素子。