特許

J-GLOBAL ID：200903012432501462

ピックアップ方法および装置

発明者： 吉岡 立信
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所 ,  日立東京エレクトロニクス株式会社
代理人 (1件)： 梶原 辰也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-119382
公開番号（公開出願番号）：特開平8-293538
出願日： 1995年04月20日
公開日（公表日）： 1996年11月05日
要約：

【要約】【目的】 粘着シートからペレットを確実に剥離させる。【構成】 複数個のペレット2が粘着されている粘着シート3がテーブル11に水平に保持される。テーブル11の下方にはニードルユニット16が配置され、ニードルユニットには粘着シート3を突き破ってペレット2を粘着シートから離脱させるニードル17が突出可能に収納されている。テーブル11には粘着シート3におけるペレット2群の周囲(ダイシングされたウエハの周囲)の空所部分を真空吸着する真空吸着ユニット20が設置されている。【効果】 ニードルのペレットの突き上げ時に粘着シートにおけるウエハ周囲の空所部分をユニットで真空吸着させることにより、粘着シートの張力を一定に維持し粘着シートがニードルに共連れされるのを防ぎ、粘着シートからペレットをニードルで確実に剥離できる。

請求項（抜粋）：

多数個の小物品が粘着されている粘着シートが固定的に保持され、この粘着シートを突き上げ部材が裏面側から突いて前記小物品を粘着シートから離脱させるピックアップ方法において、前記突き上げ部材の突き上げ時に突き上げ部材の突き上げ力に抗して前記多数個の小物品の周囲の粘着シート部分を一定位置に保持することを特徴とするピックアップ方法。

IPC (3件)：

H01L 21/68 ,  H01L 21/52 ,  H01L 21/301

FI (3件)：

H01L 21/68 E ,  H01L 21/52 F ,  H01L 21/78 Y