特許

J-GLOBAL ID：200903012432928245

熱フィラメントCVD装置

発明者： 飯田 昌盛 ,  秋葉 幸男 ,  李 成奇 ,  齋藤 一郎 ,  中田 諭 ,  飯村 斗紀子
出願人/特許権者： 学校法人東海大学 ,  ソニー株式会社
代理人 (1件)： 八木 秀人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-227205
公開番号（公開出願番号）：特開平10-072284
出願日： 1996年08月28日
公開日（公表日）： 1998年03月17日
要約：

【要約】【課題】 迅速かつ確実に所望のダイアモンド膜等を作成することができる熱フィラメントCVD装置を提供することを課題としている。【解決手段】 基板支持台と、基板支持台上の基板を加熱する熱フィラメントと、ガス供給系とを有する熱CVD装置において、前記熱フィラメントと前記基板支持台との間に掃引電圧を印加し前記熱フィラメントと前記基板支持台との間を流れる電流を測定して電流-電圧特性を表示するカーブトレーサを備えるようにして、成膜中に膜質を知ることができるようにしている。また、前記掃引電圧中の特定値における電流の値を熱フィラメント用ヒータ電源またはガス供給系のマスフローコントローラにフィードバックするようにして、常に一定の膜質が得られるようにしている。

請求項（抜粋）：

基板支持台と、基板支持台上の基板を加熱する熱フィラメントと、ガス供給系とを有する熱フィラメントCVD装置において、前記熱フィラメントと前記基板支持台との間に掃引電圧を印加しつつ前記熱フィラメントと前記基板支持台との間を流れる電流を測定して電流-電圧特性を表示するカーブトレーサを備えたことを特徴とする熱フィラメントCVD装置。

IPC (4件)：

C30B 29/04 ,  C23C 16/26 ,  C23C 16/46 ,  C23C 16/52

FI (4件)：

C30B 29/04 A ,  C23C 16/26 ,  C23C 16/46 ,  C23C 16/52