特許
J-GLOBAL ID：200903012435203276
基板支持装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
志賀 正武 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-055171
公開番号（公開出願番号）：特開平5-077973
出願日： 1991年03月19日
公開日（公表日）： 1993年03月30日
要約：
【要約】【目的】 生産性が向上し、かつ基板支持ピンの誤設定の発生を防止することができる基板支持装置を提供する。【構成】 基板ガイド上に載置された基板を、該基板の下方に直立状に支持された複数の基板支持ピン8により支持する基板支持装置において、基板の板面に沿う方向及び上下方向に移動自在に設けられた基板支持ピン押し5を有し、上下動自在に設けられた前記基板支持ピン8の所定の基板支持ピン8を基板支持ピン押し5により選択的に上下動させるピン上下動機構と、基板支持ピン8を該基板支持ピン8の下降位置で保持解除可能に保持する基板支持ピン保持機構とからなる。
請求項（抜粋）：
搬送された基板を案内する基板ガイド上に載置された前記基板を、該基板の下方に直立状に支持された複数の基板支持ピンにより支持する基板支持装置において、前記基板の板面に沿う方向及び上下方向に移動自在に設けられた基板支持ピン押しを有し、上下動自在に設けられた前記基板支持ピンの所定の基板支持ピンを前記基板支持ピン押しにより選択的に上下動させるピン上下動機構と、前記基板支持ピンを該基板支持ピンの下降位置で保持解除可能に保持する基板支持ピン保持機構とからなることを特徴とする基板支持装置。
IPC (5件)：
B65H 9/08
, B65H 5/36
, B65H 9/02
, H01L 21/68
, H05K 13/02
