特許
J-GLOBAL ID：200903012435473648
電子顕微鏡
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-292956
公開番号（公開出願番号）：特開平7-147151
出願日： 1993年11月24日
公開日（公表日）： 1995年06月06日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】試料微動装置に組み込まれた試料予備排気室を小型の加熱ホールダと併用し熱処理室として用いることにより、簡単な構成で、特殊ガス雰囲気での試料の熱処理と、試料の高温状態を保持した状態での特定視野の原子レベルでの観察及び分析とを連続的に行える電子顕微鏡を提供する。【構成】電子顕微鏡の鏡体壁に組み込まれたゴニオメータ6内に設けられた試料予備排気室7には、真空計8および排気管9が設けられており、リークバルブ18とガス排気用バルブ19を閉じた状態で、ガスボンベ11,12からガスを供給し特殊雰囲気をつくる。前記特殊雰囲気中で加熱ホールダ22により試料を加熱する。試料温度は一定に保ったまま、ガスをロータリーポンプ20で排気する。真空度がある値になると、ガス排気用バルブを閉じ、試料を電子顕微鏡内に挿入する。
請求項（抜粋）：
試料を高温で処理する試料処理室と、高温処理した試料を試料処理室から高温に保持したまま、試料観察のための鏡体内の試料室へ導入する機構を備えたことを特徴とする電子顕微鏡。
IPC (2件)：
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