特許
J-GLOBAL ID：200903012440776268
積層型圧電アクチュエータ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
後藤 洋介 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-193652
公開番号（公開出願番号）：特開2001-025268
出願日： 1999年07月07日
公開日（公表日）： 2001年01月26日
要約：
【要約】【課題】 内部電極層の間隔を狭められて素子内部での応力の発生並びに局部的な集中発生を防止し得る積層型圧電アクチュエータを提供すること。【解決手段】 このアクチュエータ10の場合も、従来通りに圧電セラミック層と内部電極層とを交互に複数積層して成る積層体7において、両側面から各内部電極層における内部電極の局部が交互に揃って露呈された部分を外部電極3で接続しているが、ここでは各内部電極層を第1の薄板状内部電極パターン(積層体7の両側面の一方側に薄板状内部電極1aの局部を露呈させ、且つその局部を除く薄板状内部電極1aの周縁を非電極形成部6aとして成る略正方形のもの)と、第2の薄板状内部電極パターン(薄板状内部電極1bの周縁の局部であって、且つ積層体7の両側面の一方側を非電極形成部6bとして成る略正方形のもの)とをそれぞれの局部が揃うように積層して成るものとしている。
請求項（抜粋）：
圧電セラミック層と内部電極層とを一方向で定められる積層方向に交互に複数積層して成る積層体と、前記積層体の一つの対向する両側面から前記内部電極層における内部電極の局部が前記積層方向に沿って交互に揃って露呈された部分を該積層方向に沿ってそれぞれ接続して成る2つの外部電極とを備えた積層型圧電アクチュエータにおいて、前記内部電極層は、前記積層体の一つの対向する両側面の一方側に薄板状内部電極の局部を露呈させ、且つ該局部を除く該薄板状内部電極の周縁を非電極形成部として成る所定の形状の第1の薄板状内部電極パターンと、薄板状内部電極の周縁の局部であって、且つ前記積層体の一つの対向する両側面の一方側を非電極形成部として成る所定の形状の第2の薄板状内部電極パターンとをそれぞれの該局部が揃う配置関係となるように該第1の薄板状内部電極パターン上に該第2の薄板状内部電極パターンを積層して成ることを特徴とする積層型圧電アクチュエータ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H02N 2/00 B
, H01L 41/08 Q
