特許

J-GLOBAL ID：200903012441745021

カラー陰極線管形成用露光装置

発明者： 小松 由和
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 船橋 國則
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-332583
公開番号（公開出願番号）：特開平11-167866
出願日： 1997年12月03日
公開日（公表日）： 1999年06月22日
要約：

【要約】【課題】 露光量分布を可変制御可能なカラー陰極線管形成用露光装置を提供する。【解決手段】 パネル面2a上に塗布した感光性樹脂に照射する露光光hの光源12と、光源12とパネル面2aとの間において光源12から照射された露光光hの光路に設けられた調光フィルタ14及びレンズ系13とを備えた露光装置1である。調光フィルタ14としては液晶パネルを用いる。これによって、液晶パネルの各画素を透過してパネル面2aの配置側照射される露光光の照射量が、液晶パネルの各TFTへの印加電圧によって変化し、パネル面2a上における露光量分布が可変制御される。

請求項（抜粋）：

カラー陰極線管のパネル面上に蛍光面を形成する際に用いる露光装置であって、前記パネル面上に塗布した感光性樹脂に照射される露光光の光源と、当該光源から前記パネル面側に照射される前記露光光の光路に設けられた調光フィルタとを備えた露光装置において、前記調光フィルタは、そのフィルタ面内にマトリックス状に配列された素子を備えたものであり、当該各素子の配置部分に対応する前記各フィルタ面部分から前記パネル面の配置側への光透過率または光反射率が当該各素子への電圧印加によって変化するものであること、を特徴とするカラー陰極線管形成用露光装置。

IPC (2件)：

H01J 9/227 ,  G03F 7/20 521

FI (2件)：

H01J 9/227 B ,  G03F 7/20 521