特許
J-GLOBAL ID:200903012442442723
薄膜トランス装置
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
山田 稔
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-244786
公開番号(公開出願番号):特開平6-120048
出願日: 1992年09月14日
公開日(公表日): 1994年04月28日
要約:
【要約】【目的】 薄膜トランスの構成要素の構造を改善して、その占有面積を拡大することなく、エネルギー変換効率を向上可能な薄膜トランスを実現すること。【構成】 それぞれ1,2次コイル3,4を有する薄膜トランスA,B,CおよびDが同一シリコン基板1の表面側に配置されなる集積薄膜トランス3aは、隣接し合うトランス同士が最外周部分のコイルを共有し、そのコイルに流れる電流は直流的に同相となる。従って、トランスの集積化に加えて、実質的なコイル巻数の増加および大電流により、コイルの最外周部分においても磁界を強化させることができ、トランスのエネルギー変換効率を向上させることができる。
請求項(抜粋):
基板の表面側に、その基板面方向に形成された導電性材料からなる第1の薄膜コイルと、この第1の薄膜コイルに絶縁膜を介して前記基板面方向に形成された導電性材料からなる第2の薄膜コイルと、を少なくとも有する薄膜トランス装置であって、前記第1の薄膜コイルおよび前記第2の薄膜コイルのうちの一方側の薄膜コイルは、前記絶縁膜の下層側で前記基板面方向に所定の配線間隔を有してスパイラル状に形成された少なくとも2条の下層側コイル部のうちのいずれかのコイル部と、前記絶縁膜の上層側で前記基板面方向に所定の配線間隔を有してスパイラル状に形成された少なくとも2条の上層側コイル部のうちのいずれかのコイル部とが前記絶縁膜を介して電気的に直列にかつ両端がコイル部の外周端で構成されるように接続されてなる一方、他方側の薄膜コイルは、前記下層側コイル部および前記上層側コイル部の他のコイル部が前記絶縁膜を介して電気的に直列にかつ両端がコイル部の外周端で構成されるように接続されてなることによって、前記第1の薄膜コイルおよび前記第2の薄膜コイルは、いずれも端子を外周側に備えることを特徴とする薄膜トランス装置。
IPC (4件):
H01F 27/28
, H01F 15/14
, H01F 19/00
, H01L 27/04
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