撥水性膜の成膜方法およびその方法により得られる撥水性膜が成膜された物品

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：大野精市
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-126917
公開番号（公開出願番号）：特開2001-303246
出願日： 2000年04月27日
公開日（公表日）： 2001年10月31日
要約：

【要約】【課題】ガラス板表面にゾルゲル法などにより形成された撥水性の膜は、自動車用の窓ガラスのように外部に曝される用途では、物理的力(摩擦など)に対して耐久性が十分でないという課題があった。【解決手段】珪素または二酸化珪素のターゲットを反応性ガスとしての酸素および窒素とフッ素化合物ガスとを含む減圧ガス雰囲気内でスパッタリングして基板上にフッ素含有の撥水性膜を成膜する。このとき、ターゲット成分の酸素と窒素との反応量を、厚み方向に組成勾配を有するように成膜中に変化させることにより、反射防止性でかつ撥水性の膜とすることができる。この膜の撥水性は、膜表面が摩耗しても劣化しない。

請求項（抜粋）：

珪素または二酸化珪素のターゲットを、反応性ガスとしての酸素および窒素とフッ素化合物ガスとを含む減圧雰囲気内でスパッタリングして、基板上にフッ素含有の撥水性膜を成膜する方法であって、前記ターゲット成分の前記2種の反応性ガスとの反応量を、前記撥水性膜の厚み方向に組成勾配を有するように成膜中に変化させることを特徴とする撥水性膜の成膜方法。

IPC (4件)：

C23C 14/34 , C03C 17/22 , C23C 14/06 , C23C 14/10

FI (4件)：

C23C 14/34 N , C03C 17/22 Z , C23C 14/06 A , C23C 14/10

Fターム (17件)：

4G059AA01 , 4G059AC04 , 4G059AC16 , 4G059AC22 , 4G059EA05 , 4G059EA09 , 4G059EA12 , 4G059EA16 , 4G059EB04 , 4K029AA09 , 4K029BA32 , 4K029BB01 , 4K029BC00 , 4K029BC08 , 4K029CA06 , 4K029DC05 , 4K029EA05

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