特許
J-GLOBAL ID：200903012447756718

空間光変調装置およびその制御方法

発明者：
武田 高司

武田 高司 について


出願人/特許権者：
セイコーエプソン株式会社

セイコーエプソン株式会社 について


代理人 (1件)： 鈴木 喜三郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-243834
公開番号（公開出願番号）：特開2000-075225
出願日： 1998年08月28日
公開日（公表日）： 2000年03月14日
要約：
【要約】【課題】 エバネセント光を利用した光スイッチング素子などの空間光変調装置において、駆動電圧の低い空間光変調装置を提供する。【解決手段】 弾性体であるヨーク50の弾性力と、電極60および62による静電力により、抽出面32を備えたスイッチング部30をオン状態の第1の位置P1とオフ状態の第2の位置P2の間を動かす際に、第1の位置P1でスイッチング部30を保持するヨーク50の弾性力に達しない程度のバイアス電圧Vbを印加する。これによって、駆動電圧Vdを下げることができ、制御回路を簡略化できると共に消費電力も低減できる。
請求項（抜粋）：
光を変調可能な第1の位置、およびこの第1の位置から離れた第2の位置に移動可能な少なくとも1つのスイッチング部と、このスイッチング部を弾性的に支持する支持部材と、前記スイッチング部を少なくとも1組の電極の間で働く静電力によって駆動可能な静電駆動手段と、この静電駆動手段に、前記スイッチング部を駆動する駆動電圧と、この駆動電圧と同極性で、静電力または弾性力により少なくとも前記第1の位置で前記スイッチング部を安定して保持する保持力を確保可能な一定のバイアス電圧とを印加可能な駆動制御手段とを有する空間光変調装置。
Fターム (10件)：
2H041AA00 ,  2H041AA04 ,  2H041AB12 ,  2H041AB40 ,  2H041AC00 ,  2H041AC06 ,  2H041AC10 ,  2H041AZ00 ,  2H041AZ03 ,  2H041AZ08
引用特許：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (1件)

前のページに戻る

TOP

BOTTOM